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多維精密調(diào)整架坐標(biāo)解耦合

來源: 發(fā)布日期 2019-03-04 11:12 瀏覽:

裝調(diào)光學(xué)元器件的調(diào)整,實際上就是對其六個自由度中的幾個自由度進(jìn)行調(diào)整。
不同的光學(xué)調(diào)整架基本設(shè)計理念都是為了實現(xiàn)對一個或多個自由度進(jìn)行調(diào)整并保證調(diào)整精度。實驗中,常用的是對光學(xué)元器件五個自由度進(jìn)行調(diào)整的五維調(diào)整架。
對于五維光學(xué)調(diào)整架,由于受系統(tǒng)安裝空間的限制、系統(tǒng)裝調(diào)狀態(tài)的要求、機(jī)械結(jié)構(gòu)設(shè)計難度以及加工工藝的限制,調(diào)整架的三維平移調(diào)整自由度之間無法做到兩兩正交;二維旋轉(zhuǎn)自由度的回轉(zhuǎn)中心和光學(xué)元器件的光學(xué)中心無法做到重合;因此在進(jìn)行五個自由度調(diào)整時,各維調(diào)整量之間存在坐標(biāo)耦合,即調(diào)整其中的一維,會引起其它另一維甚至幾維的變動。一般在光學(xué)系統(tǒng)裝調(diào)實驗中,由于無法對各位置調(diào)整量之間的坐標(biāo)耦合關(guān)系進(jìn)行量化和補(bǔ)償校正,通常忽略坐標(biāo)耦合情況。但是,忽略坐標(biāo)耦合關(guān)系會造成實際機(jī)械調(diào)整量和光學(xué)調(diào)整量的期望值之間存在差異,因而,也影響光學(xué)系統(tǒng)裝調(diào)過程的收斂速度。

三維調(diào)整架